HIGHLIGHTS MIKROTECHNOLOGIE

Bei der Mikrosystemtechnik, als einem Teilbereich der Mikrotechnologie, geht es vor allem um die Entwicklung von Mikrosystemen und deren Herstellung. Oft wird die Mikrosystemtechnik auch einfach als MST bezeichnet. Es geht darum, nicht nur mikromechanische und mikrooptische Bauelemente herzustellen, sondern diese auch funktionstüchtig in verschiedene Schaltungen zu integrieren. Diese sind natürlich ebenfalls mikroelektronisch gefertigt.

Hauptsächlich werden also Sensoren und Aktoren in der Mikrosystemtechnik entwickelt. Damit diese sich integrieren lassen, müssen verschiedene Teilbereiche der Mikrotechnik zusammenwirken. Das macht das Ganze auch recht schwierig, so dass es eine echte Herausforderung ist, Bestandteile der Mikrofluidik, der Mikrooptik und der Mikromechanik zusammenzuführen. Ebenfalls arbeitet die Mikrosystemtechnik mit fast allen nur erdenklichen Materialien, die von Silizium bis Gallium-Arsenid reichen.

Auch für die Herstellung selbst kommen unterschiedliche Verfahren zum Einsatz. Am bekanntesten dürften dabei die Halbleiterverfahren sein. Aber auch Dünnschicht- und Abformtechniken kommen zum Einsatz. Des Weiteren werden Ätztechniken genutzt. Der Einsatzbereich reicht von Halbleitern über Metalle bis hin zu Kunststoffen, Keramiken und vielem mehr.

In der Mikrosystemtechnik werden auch nicht nur neue Verfahren entwickelt, sondern genauso bereits bekannte Verfahren aus anderen Bereichen als Grundlage genutzt und weiter entwickelt. Dies gilt insbesondere für Verfahren aus den Bereichen der Informatik, der Bio- und Nanotechnologie. Durch die Weiterentwicklung und neue Kombinationsmöglichkeiten können völlig neue Systeme aus der Mikrosystemtechnik hervorgehen.

Als ein besonderer Teilbereich in der Mikrosystemtechnik ist die Mikroverfahrenstechnik zu nennen. Sie befasst sich vor allem mit den chemischen und physikalischen Prozessen, die in den Mikrosystemen ablaufen. Insbesondere werden dabei verschiedene Kanäle untersucht, deren Größe unter einem Millimeter liegt. Dabei wird die Durchflusstechnik bei der Beurteilung herangezogen, die wiederum so angelegt ist, dass nicht nur kleinste Mengen der Chemikalien untersucht werden, sondern auch größere Mengen. Somit ergibt sich die Möglichkeit, die Erkenntnisse der Mikrosystemtechnik auch auf eine Serienproduktion anzuwenden, wodurch sich der deutliche Unterschied zur Mikrochemie auszeichnet. Denn bei ihr werden lediglich sehr kleine Mengen und Volumina betrachtet, so dass eine Übertragung auf die Serienproduktion nicht möglich ist.