HIGHLIGHTS MIKROTECHNOLOGIE

… von verschiedenen physikalischen Verfahren unterstützt werden. Zu letzteren zählen die Lithografie, die Messtechnik und Implantation, um nur einige Beispiele zu nennen. Die Herstellung erfolgt nach dem Planarverfahren, das besagt, dass die Funktion eines Bauelements auf einer Oberfläche eines Eiskristalls realisiert wird. Dieser Eiskristall besteht dabei aus Halbleitermaterial. In mehreren Einzelschritten wird auf dieses Halbleitermaterial eine Schicht nach der anderen aufgebracht. Jede Schicht weist bestimmte elektrische Eigenschaften auf, wie etwa die Isolation, die Leitfähigkeit und vieles mehr. Da mehrere Schichten mit mehreren Eigenschaften direkt übereinander gelegt werden, entstehen auf dem Halbleitermaterial Transistorfunktionen. Kondensatoren oder Widerstände, die wiederum ganze Bauelemente darstellen.

Da die Strukturen dieser Bauelemente aufgrund der Miniaturisierung …

…ich ebenfalls mikroelektronisch gefertigt.

Hauptsächlich werden also Sensoren und Aktoren in der Mikrosystemtechnik entwickelt. Damit diese sich integrieren lassen, müssen verschiedene Teilbereiche der Mikrotechnik zusammenwirken. Das macht das Ganze auch recht schwierig, so dass es eine echte Herausforderung ist, Bestandteile der Mikrofluidik, der Mikrooptik und der Mikromechanik zusammenzuführen. Ebenfalls arbeitet die Mikrosystemtechnik mit fast allen nur erdenklichen Materialien, die von Silizium bis Gallium-Arsenid reichen.

Auch für die Herstellung selbst kommen unterschiedliche Verfahren zum Einsatz. Am bekanntesten dürften dabei die Halbleiterverfahren sein. Aber auch Dünnschicht- und Abformtechniken kommen zum Einsatz. Des Weiteren werden Ätztechniken genutzt. Der Einsatzbereich reicht von Halbleitern über Metalle bis hin zu Kunststoffen, Keramiken und vielem mehr.
…

…er gesagt, liegt die Größe dieser Körper und Strukturen im Bereich der Mikrometer, woher auch der Name Mikrotechnik stammt. Allerdings ist die Mikrotechnologie nicht mit der Nanotechnologie zu verwechseln, die sich mit Körpern und Strukturen befasst, deren Größe unter 100 Nanometern liegt. Insbesondere im Bereich der Entwicklung von Schaltkreisen, die integriert werden, wird die Mikrotechnik angewandt. Hierbei sind die Schaltkreise der erste Punkt, der notwendig ist, um die moderne Computertechnologie überhaupt zu ermöglichen.

Ebenfalls findet sich im Bereich der Mikrotechnik die Mikrosystemtechnik. Von ihr ist immer dann die Rede, wenn nicht nur Speicher- und Logikfunktionen erstellt werden sollen, sondern auch eine Integration von Komponenten aus der Optik, der Biochemie oder der Mechanik angestrebt wird. Ein weiteres wichtiges Einsatzgebiet der Mikrotechnik ist die Herstell…